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激光共聚焦显微镜



生产厂家:日本OLYMPUS
设备型号:LEXT OLS4100
安放地点:科技楼204
负责人:王丽丽
联系电话:62332598-6206
 
主要功能
LEXT OLS4100激光共聚焦显微镜采用405nm 的短波长激光和高数值孔径的物镜,通过非接触的方式进行样品表面三维形貌观察和测量。它采用了双共焦系统,结合高灵敏度的探测器,使得具有不同反射率材料的样品,也能获得鲜明的影像,它的平面分辨率可达12μm,最高可分辨10nm的高度差,可以对样品的表面进行亚微米的测量。它可以方便快捷地获取影像,同时配备丰富的测量功能。
 
主要技术参数
光源:405 nm 半导体激光
检出系统:光电倍增管
总倍率:108×~17,280×;光学变焦1×~8×
平面分辨率:0.12μm;重复性:0.02μm;
正确性:测量值的±2%以内
高度分辨率:10nm;重复性:0.012μm;
正确性:0.2+L/100μm以下(L=测量长度μm)
物镜:明视场平面半消色差透镜5×、10×LEXT专用平面复消色差透镜20×、50×、100×
Z 对焦部分行程:100mm
XY电动载物台:100×100mm
 
主要应用
1. 获取样品表面的二维及三维影像;
2. 测量轮廓截面上任意两点之间的高低差异,轮廓测量也同样可用;
3. 测量线粗糙度,以及平面整体的面粗糙度;
3. 拼接功能获取样品全貌图像;
4. 面积/体积测量:根据设置在轮廓截面上的任意阈值,可以测量其上部或下部的体积;
5. 一键操作制作报表功能。
 
 
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