生产厂家：日本OLYMPUS
设备型号：LEXT OLS4100
安放地点：昌平创新园区南楼111
负责人：王丽丽
联系电话：62332598-6111
主要功能
LEXT OLS4100激光共聚焦显微镜采用405nm 的短波长激光和高数值孔径的物镜，通过非接触的方式进行样品表面三维形貌观察和测量。它采用了双共焦系统，结合高灵敏度的探测器，使得具有不同反射率材料的样品，也能获得鲜明的影像，它的平面分辨率可达12μm，最高可分辨10nm的高度差，可以对样品的表面进行亚微米的测量。它可以方便快捷地获取影像，同时配备丰富的测量功能。
主要技术参数
光源：405 nm 半导体激光
检出系统：光电倍增管
总倍率：108×～17,280×；光学变焦1×～8×
平面分辨率：0.12μm；重复性：0.02μm
正确性：测量值的±2%以内
高度分辨率：10nm；重复性：0.012μm
正确性：0.2＋L/100μm以下（L＝测量长度μm）
物镜：明视场平面半消色差透镜5×、10×LEXT专用平面复消色差透镜20×、50×、100×
Z 对焦部分行程：100mm
XY电动载物台：100×100mm
主要应用
1. 获取样品表面的二维及三维影像
2. 测量轮廓截面上任意两点之间的高低差异，轮廓测量也同样可用
3. 测量线粗糙度，以及平面整体的面粗糙度
3. 拼接功能获取样品全貌图像
4. 面积/体积测量：根据设置在轮廓截面上的任意阈值，可以测量其上部或下部的体积
5. 一键操作制作报表功能
